فیب میں کاربن کی مقدار کو کم کرنا: آخر IR حرارت دینے کا طریقہ کیوں کارگر ہے؟
اگر آپ سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن پلانٹ میں کاربن کی مقدار کو صفر تک لانا چاہتے ہیں، تو آپ کو جلد ہی احساس ہو جائے گا کہ صرف “سبز توانائی” کے کریڈٹ خریدنا کافی نہیں ہے۔ آپ کو خود ہی حرارت کے مسائل سے نمٹنا پڑے گا۔
روایتی ریزسٹیو ہیٹنگ سسٹم یا بڑے کنورشن اوونز کے بارے میں سوچیں۔ دراصل یہ توانائی کے ضیاع کا سبب بنتے ہیں۔ ان میں آدھا وقت ہی فضا اور چیمبر کی دیواروں کو گرم کرنے میں صرف ہو جاتا ہے، جبکہ ویفر میں کوئی درجہ حرارتی تبدیلی ہی نہیں ہوتی۔ یہ بالکل بیکار ہے۔
اسی لیے ہم IR لیمپ سسٹم کا استعمال کرتے ہیں۔ ہم کمرے کو گرم کرنے کے بجائے، صرف ویفر کو ہی گرم کرتے ہیں۔
حرارت کو درست جگہ پر پہنچانا
IR حرارت، شعاعی توانائی پر مبنی ہے۔ فضا کے گرم ہونے کا انتظار کرنے کے بجائے، لیمپ فوٹونز کو براہ راست سطح پر بھیجتے ہیں۔ یہ بہت تیز عمل ہے۔
چونکہ حرارت پیدا کرنے میں وقت کم لگتا ہے، اس لیے ویفر پر حرارت لگانے میں بھی کم وقت لگتا ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ ہر بیچ میں کم kWh کی توانائی خرچ ہوتی ہے، اور بجلی کے بل پر بھی کم بوجھ پڑتا ہے۔ جس چیز پر آپ کام کر رہے ہیں، اس کے مطابق ہم مناسب طول موج کا انتخاب کرتے ہیں۔ اگر آپ کو تیزی سے سطح کو گرم کرنے کی ضرورت ہے، تو ہم شارٹ ویو لہروں کا استعمال کرتے ہیں؛ اگر آپ کو گہرائی میں حرارت پہنچانے کی ضرورت ہے، تو ہم میڈیم ویو لہروں کا استعمال کرتے ہیں۔
کلین روم کی حقیقت
اب، آپ صرف بلب تبدیل کرکے کام ختم نہیں کر سکتے۔
فیبریکیشن پلانٹ میں، ذرات کی موجودگی ایک بڑا مسئلہ ہے۔ اگر ایک ہی ذرہ بھی موجود ہو، تو آپ کی پیداوار میں کمی واقع ہو جاتی ہے۔ گرم کرنے کے عمل کے دوران گیسوں کے اخراج کو روکنے کے لیے، ہم خصوصی کوٹنگز اور کوارٹز کے آویزوں کا استعمال کرتے ہیں۔
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ یہ IR لیمپس، بڑے اوونوں کے مقابلے میں بہت کم جگہ لیتے ہیں۔ اس سے فرش پر کافی جگہ باقی رہتی ہے۔ جب تک آپ کا بجلی کا نظام اس بوجھ کو سنبھال سکتا ہے، تو یہ لیمپس آپ کے موجودہ آلات میں آسانی سے فٹ ہو جاتے ہیں۔
تضادات (کیونکہ کچھ بھی بے عیب نہیں ہے)
لیکن IR لیمپس بہت طاقتور ہیں، لیکن ان کا استعمال مشکل ہے۔
یہ شدید حرارتی گریڈیئنٹس پیدا کرتے ہیں۔ اگر لیمپ چند ملی میٹر کے فاصلے پر ہی ہو، تو ویفر پر گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں۔ اس سے بچنے کے لیے، آپ کو مضبوط PID کنٹرولرز اور سینسرز کی ضرورت ہے، تاکہ ہر چیز یکساں رہے۔
اور ایک اور بات… یہ اعلی واٹیج والے لیمپس، لیمپ کے پچھلے حصے سے بہت زیادہ حرارت خارج کرتے ہیں۔ اگر آپ کا HVAC اور کولنگ سسٹم اس حرارت کو کلین روم سے باہر نکالنے کے لیے کافی مضبوط نہ ہو، تو الارم بجنے لگتے ہیں۔
اس کو سیٹ اپ کرنے میں تھوڑی محنت لگتی ہے، لیکن توانائی کی بچت کی وجہ سے یہ قابل قدر ہے۔