Giữ cho phòng sạch luôn sạch thực sự: Sự thật về công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, chắc hẳn bạn đã biết rõ những khó khăn liên quan đến việc kiểm soát các hạt bụi trong không khí. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ hay một lượng khí thải nhỏ thôi cũng có thể làm hỏng toàn bộ số wafer bạn đang xử lý.
Vấn đề là hầu hết các bộ phận sưởi ấm thông thường không được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch như vậy. Chúng thường tạo ra các hạt bụi vi mô khi được làm nóng và nguội đi. Đó là một vấn đề khó giải quyết.
Chúng tôi đã tìm ra cách giải quyết tốt hơn. Chúng tôi sử dụng ống thạch anh có độ tinh khiết cao, được phủ lớp kim loại vàng để phản xạ ánh sáng. Đơn giản, nhưng hiệu quả.
Tại sao lại chọn vàng?
Với các loại đèn thạch anh thông thường, nhiệt lượng được phát ra theo mọi hướng. Điều này gây lãng phí năng lượng. Bằng cách phủ một lớp vàng mỏng lên mặt sau của ống, chúng tôi có thể tập trung toàn bộ năng lượng hồng ngoại vào mục tiêu cần sưởi. Nhờ đó, nhiệt độ cần đạt được sẽ tăng lên gấp đôi. Chúng tôi chọn vàng vì nó có khả năng phản xạ tia hồng ngoại tốt nhất, và khác với các chất liệu khác, vàng không bị oxy hóa khi nhiệt độ tăng cao.
Chúng tôi cũng không sử dụng loại thủy tinh bình thường. Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Nhờ đó, khi nhiệt độ tăng lên, bạn không cần lo lắng về việc các ion từ ống thạch anh di chuyển sang bề mặt silicon. Bề mặt silicon vẫn giữ được độ sạch.
Tốc độ, nhiệt độ… và những điểm cần lưu ý
Những chiếc đèn này được thiết kế để xử lý nhiệt nhanh. Nhờ khả năng tập trung năng lượng của vàng, diện tích bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ sẽ giảm đi. Bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn, điều này giúp các wafer ít phải chịu áp lực nhiệt hơn.
Nhưng cần lưu ý: hãy kiểm soát cường độ nhiệt. Khi đẩy các đèn này đến giới hạn tối đa, các bộ phận che chắn và các linh kiện liên quan sẽ chịu áp lực lớn. Tôi luôn khuyên mọi người nên kiểm tra kỹ các bộ phận đóng kín chân không và hệ thống làm mát. Bạn không muốn rằng áp lực nhiệt làm vỡ ống thạch anh trong quá trình vận hành.
Làm thế nào để sử dụng chúng trong quy trình sản xuất của bạn?
Chúng tôi thiết kế những chiếc đèn này để có thể thay thế ngay lập tức. Bạn không cần phải thay thế toàn bộ thiết bị của mình. Một ưu điểm nữa là bạn có thể loại bỏ những bộ phận phản xạ ánh sáng bên ngoài. Những bộ phận này thường thu hút bụi và rất khó vệ sinh. Vì khả năng phản xạ ánh sáng đã được tích hợp ngay trong ống thạch anh, nên số lượng linh kiện trong phòng sạch sẽ giảm đi. Số lượng linh kiện ít hơn đồng nghĩa với chu kỳ làm sạch nhanh hơn. Và chu kỳ làm sạch nhanh hơn giúp giữ cho số lượng hạt bụi ở mức cần thiết.