Trên sàn lithography, một wafer vừa ra khỏi bồn tẩy rửa sạch, vẫn còn ướt đẫm. Nếu máy sấy IR không kịp thời làm khô, sẽ để lại vết nước, lớp photoresist không bám được, và dây chuyền sản xuất sẽ bị ngưng trệ. Chúng tôi thiết kế bộ sấy wafer bằng đèn hồng ngoại để ngăn chặn lỗi này ngay từ đầu.
Điều quan trọng bên trong thiết bị
Chúng tôi sử dụng bộ phát quang hồng ngoại thạch anh sóng ngắn, giúp năng lượng tác động trực tiếp và nhanh lên wafer, đồng thời giữ cho nền wafer mát. Bạn đạt được độ đồng đều nhiệt trên wafer trong phạm vi ±0.1°C trong toàn bộ cửa sổ quy trình, đảm bảo các chu trình soft bake và hard bake giữ nguyên đúng thông số. Công suất đầu ra ổn định trên 5.000 giờ hoạt động với độ trôi cường độ dưới 5%, giúp tính lặp lại không suy giảm theo thời gian. Module đèn sấy phù hợp hoạt động trong phòng sạch Class 1–100 và được thiết kế không sinh ra hạt bụi—đã được xác nhận bằng đo đếm hạt bụi ngay tại điểm sử dụng.
Lý do thiết bị hoạt động hiệu quả trong thực tế
Trong quá trình sấy wafer, kiểm soát nhiệt độ chính là ngân sách nhiệt. Đèn hồng ngoại của chúng tôi cung cấp nhiệt lượng ổn định và có thể lặp lại, giúp wafer nhanh khô, giảm thiểu lỗi truyền từ bước trước, và tăng thông lượng mà không làm tăng đáng kể mức tiêu thụ năng lượng. Bạn sẽ thấy chu trình sản xuất nhanh hơn, ít lô bị loại bỏ hơn, và giảm chi phí bảo trì vì đèn phát sáng có tuổi thọ dài và hồ sơ nhiệt ổn định. Thiết kế được xác nhận tương đương với tiêu chuẩn thiết bị bán dẫn quốc tế, nên có thể thay thế trực tiếp và được xác thực cho các nền tảng hiện có của bạn.
Điều cần lưu ý khi lắp đặt
Việc lắp đặt chủ yếu là khớp với giao diện cơ khí và tín hiệu điều khiển của thiết bị—thường là tín hiệu logic 24 V và cáp chống nhiễu để ngăn EMI. Bộ sấy đạt nhiệt độ tối đa trong vài giây, vì vậy bộ điều khiển quy trình cần được hiệu chỉnh để tránh vượt nhiệt trong giai đoạn khởi động và chuyển bước công thức. Trong môi trường có độ ẩm cao, cần đảm bảo kiểm soát hiện tượng ngưng tụ tại chỗ; cửa sổ phát sáng phải luôn trong suốt để duy trì truyền IR ổn định.