别再浪费热量了：使用镀金反射器的优势
如果你在加工半导体晶圆时没有使用反射器，那简直就是把一半的钱白扔掉了。
试想一下，普通的石英红外灯会将热量向四周散发——360度全方位散热。如果没有东西来吸收这些热量，其中一半的能量就会流失到机器的机壳中，这无疑是一种浪费。我们使用镀金反射器来解决这个问题。它们就像一面镜子，能将所有热量重新引回到晶圆上。
为什么选择黄金？
虽然铝的价格更低，但在处理红外光方面，黄金的表现更为出色。它能够反射更多的能量，而且更重要的是，在高温环境下也不会出现剥落或氧化的情况。我们会在反射器表面涂上一层薄薄的黄金，这样就能让尽可能多的光子照射到目标上。这样一来，就可以消除“无效区域”，让热量精确地作用于需要的地方。
需要了解的权衡点
当增加功率密度时，其实就是在冒险——真的是如此。高瓦数的灯泡与镀金反射器结合在一起，会产生强烈的热量。好处是，升温速度更快，而且整个晶圆上的温度更加均匀。但这也有缺点：如此集中的热量会对灯具的壳体造成巨大压力。如果冷却风扇或散热装置无法承受这种压力，就可能会出现问题，比如插座熔化或支架变形。因此，一定要确保冷却系统能够跟上产生的热量。
如何将其应用到生产线上
我们设计了这种可直接替换的反射器，因为没人愿意因此而停工一周。你只需将其替换下来，然后连接到现有的控制器上即可。不过需要注意的是，要调整PID设置。由于这些反射器的效率很高，原来的温度设定值可能会超出范围。为了避免对硅片造成损害，建议先调整一下升温速率。一旦调整妥当，就可以正常使用了。