300毫米晶圆的均匀加热IR处理

请观看300毫米晶圆从旋涂机中取出的过程。光刻胶已经涂覆在晶圆上，接下来就需要进行烘烤处理。如果烘烤不均匀，不仅会损失一颗晶圆，还会影响整个光刻流程的效率。为此，我们设计了专门的300毫米晶圆红外加热系统，以确保热量能均匀地分布到晶圆的各个部位。 真正重要的是什么？ 我们使用短波红外发射器来实现快...