http://industrial-qz-heater.com/ar/tags/%D9%85%D8%B3%D8%A8%D8%A7%D8%B1/ Recent content in مسبار on Industrial Quartz Heating Systems Hugo ar Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ar/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ar/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="مسخن مسبار قياس الإليبتوسكوبية لرقاقات السيليكون"></p> <p>في قاعة الإنتاج، تكون بيانات الإليبسومتري ذات قيمة فقط إذا كانت درجة حرارة الجهاز مستقرة. أي تغير في درجة الحرارة بمقدار 1 درجة مئوية أثناء عملية الخبز اللين أو الصلب يؤدي إلى تغيير سمك طبقة الفوتوريزست وقيمة CD، وهو ما يؤدي إلى فشل العملية. لذلك، تم تصميم جهاز التسخين المستخدم في الإليبسومتري بحيث يكون دقيقًا للغاية، بحيث يظل التوحيد في درجة الحرارة عند ±0.1 درجة مئوية، وبالتالي تظل القراءات متسقة مع متطلبات العملية، وليس مع تقلبات درجة الحرارة.</p>