৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারটি স্পিন কোটার থেকে বেরিয়ে আসার দৃশ্যটি দেখুন। ফটোরেজিস্টটি সেখানেই রয়েছে; এটাকে প্রস্তুত করার জন্য অপেক্ষা করছে। যদি তাপ সমানভাবে প্রয়োগ না হয়, তাহলে শুধুমাত্র একটি ওয়েফারই নষ্ট হয় না; বরং পুরো লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াটিই ক্ষতিগ্রস্ত হয়। এই সমস্যা সমাধানের জন্যই আমরা ৩০০ মিমি ওয়েফারের জন্য IR সিস্টেম তৈরি করেছি; এটা ঠিক সেখানেই সমান তাপ সরবরাহ করে।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত ও সরাসরি শক্তি সরবরাহের জন্য শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি। এর ফলে ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারের পুরো পৃষ্ঠে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; এবং এটা বারবার প্রয়োগ করা যায়। এই সিস্টেমটি ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুমগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; এছাড়া এটা কোনো ধরনের কণার সংস্পর্শ ছাড়াই কাজ করে, ফলে চেম্বারটি পরিষ্কার থাকে।
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় এটা কেন গুরুত্বপূর্ণ? কারণ এটা সেইসব ধাপগুলোকে সহায়তা করে, যেগুলো তাপের প্রতি অত্যন্ত সংবেদনশীল—যেমন সফ্ট বেক, হার্ড বেক ইত্যাদি। যখন তাপমাত্রা সমান থাকে, তখন ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণ সুষ্ঠু থাকে এবং ত্রুটিগুলো কমে যায়। তাপীয় প্রতিক্রিয়া দ্রুত হওয়ায় প্রক্রিয়ার সময়ও কমে যায়।
আর এই এমিটারগুলো ৫,০০০+ ঘণ্টা ধরে অবিরাম কাজ করতে পারে; ফলে কোনো সমস্যা হয় না, আর কনজিউমেবলগুলো খোঁজার জন্য সময়ও কম লাগে।
আপনাকে কী পরিকল্পনা করতে হবে?
এটা বিদ্যমান প্রক্রিয়াগুলোর সাথে সহজেই সামঞ্জস্যপূর্ণ হয়; কিন্তু এর জন্য নিজস্ব বিদ্যুৎ ও কুল্যান্ট প্রয়োজন। ২৪০V, থ্রি-ফেজ বিদ্যুৎ এবং ডিআয়নাইজড জল ব্যবহার করে তাপীয় স্থিতিশীলতা বজায় রাখা যায়।
ফলাফলটা খুবই সরল: দিনের পর দিন ধরে নির্ভরযোগ্য প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ।