সেমিকন্ডাক্টর পরিদর্শন যন্ত্র হিটার

Tue, 02 Jun 2026 03:35:39 +0800

On the fab floor, wafer inspection-এর সময় তাপমাত্রার ওঠানামা গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলোকে প্রভাবিত করতে পারে, অনেক লট নষ্ট করতে পারে এবং lithography সময়কে ক্ষয় করতে পারে। আমরা আমাদের inspection tool-এর হিটারটি এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে এটি প্রথম থেকেই এই সমস্যা রোধ করে। এটি short-wave infrared ব্যবহার করে একটি থার্মাল ফিল্ড তৈরি করে যা সাব-মিলিমিটার ইউনিফর্মিটি এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য স্থিতিশীলতা প্রদান করে—আধুনিক নোডের থার্মাল বাজেট সীমাবদ্ধতার সাথে সম্পূর্ণ সামঞ্জস্য রেখে।

What matters under the hood
হার্ট হিসেবে রয়েছে একটি infrared emitter অ্যারে যা wafer-লেভেলের ইউনিফর্মিটি ±0.1°C পর্যন্ত ধরে রাখে, এবং তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তি শিফটের মধ্যে কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রিত থাকে। হিটার প্রোফাইলটি soft bake এবং hard bake উভয়ের জন্য স্পষ্টভাবে সমর্থন দেয় ওভারশুট ছাড়াই, ফলে photoresist-এর অখণ্ডতা রক্ষা পায় এবং standing wave এর প্রভাব নিয়ন্ত্রণে থাকে। Cleanroom সামঞ্জস্যতা কোন অতিরিক্ত বিষয় নয়—Class 1–100 পরিবেশে কোনো কণার সৃষ্টির ঘটনা নেই, এবং ব্যবহৃত উপকরণগুলি আউটগ্যাসিং নিয়ন্ত্রিত যা দূষণ এড়ায়। পাওয়ার ডেলিভারি 24/7 ডিউটি সাইকেলের জন্য ক্যালিব্রেট করা হয়েছে, ফলে হাজার হাজার রান পরেও তাপীয় বিচ্যুতি স্পেসিফিকেশনের মধ্যে থাকে।

পরিদর্শন on Industrial Quartz Heating Systems

সেমিকন্ডাক্টর পরিদর্শন যন্ত্র হিটার