http://industrial-qz-heater.com/cs/tags/eliptometrie/ Recent content in Eliptometrie on Industrial Quartz Heating Systems Hugo cs Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/cs/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/cs/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Elipsometrický ohřívač sondy waferu"></p> <p>V prostředí výroby má data z ellipsometrie hodnotu pouze v té míře, v jaké je přesná teplota sondy. Posun o 1 °C během procesu měkkého nebo tvrdého zahřívání může ovlivnit tloušťku fotorezistentu a jeho rovnoměrnost, což může vést k problémům s výsledným produktem. Vytvořili jsme ohřívač sondy určený k použití v ellipsometrii, který pracuje s nulovou tolerancí na takové odchylky – rovnoměrnost teploty na povrchu waferu zůstává na úrovni ±0,1 °C, takže čtení odpovídá skutečnému průběhu procesu, nikoli teplotním výkyvům.</p>