Hören Sie auf, Energie in der Glovebox zu verschwenden!
Wenn Sie bereits Siliziumwafer in einer Glovebox erhitzt haben, kennen Sie sicherlich die Frustration dabei. Man gibt viel Energie ein – doch ein großer Teil dieser Energie geht einfach verloren. Herkömmliche Infrarotkomponenten strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Die Hälfte der Wärme trifft auf die Wandungen der Glovebox statt auf das Substrat. Das ist eine Verschwendung von Energie und Zeit.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir setzen goldbeschichtete Reflektoren direkt in den Heizelemente ein.
Warum Gold?
Es ist einfach: Gold reflektiert Infrarotstrahlung viel besser als Aluminium oder poliertes Stahl. Anstatt dass die Wärme vom Gerät selbst aufgenommen wird, wird sie durch die goldene Schicht direkt wieder auf das Wafer zurückgeworfen. Dadurch entsteht eine konzentrierte Wärmestrahlung genau dort, wo sie benötigt wird.
Aber es gibt einen Haken: Da so viel Wärme auf das Wafer abgegeben wird, wird die Lamenhülle selbst sehr heiß. Es handelt sich dabei um ein Kompromiss. Sie sollten unbedingt die Belüftung der Glovebox sowie die Kühlmodule überprüfen. Wenn nicht genügend Luftstrom vorhanden ist, besteht die Gefahr, dass die Elektronik beschädigt wird – oder schlimmer noch, die Anschlüsse schmelzen.
Die gute Nachricht ist: Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die einfach eingesetzt werden können. Sie müssen Ihre gesamte Anlage nicht neu aufbauen. Einfach die goldbeschichteten Elemente einsetzen – und schon leistet jede Watt-Einheit ihre volle Wirkung. Sie werden feststellen, dass Sie die gewünschten Temperaturen schneller erreichen, und die Stromversorgung muss nicht mehr so viel Energie aufwenden.
Und wenn Sie mit hochpräzisen Temperaturzyklen arbeiten, ist das wirklich eine großartige Lösung. Die Wärme wird nun gleichmäßiger über das Wafer verteilt. Keine lästigen Hotspots mehr. Kombinieren Sie diese Lösung mit einem guten PID-Controller – dann können Sie die erforderlichen Toleranzen einhalten, ohne dass es zu unerwünschten Überhitzungen kommt.