In der Lithografieanlage darf es keine thermischen Schwankungen in der Kammer für den Photoresist geben. Temperaturunterschiede führen zu Defekten im Muster sowie zu einem Produktionsverlust, den man nicht mehr ausgleichen kann. Wir haben einen Heizer entwickelt, der die Prozesstemperatur konstant hält – damit die chemischen Reaktionen ordnungsgemäß ablaufen und die Wafer sauber bleiben.
Was wirklich wichtig ist
Die Anlage nutzt Halogenheizung mit Kurzwellenlicht durch ein Quarzfenster – dadurch ist die Reaktionszeit kurz und die Leistung konstant. Die thermische Homogenität auf der Oberfläche der Wafer wird auf ±0,1°C gehalten, und die Reproduzierbarkeit bleibt hoch, sodass sich die Verhältnisse während des Prozesses nicht ändern. Der Heizer ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet, und alle Oberflächen sind so verarbeitet, dass eine geringe Partikelbildung entsteht. In der Praxis bedeutet das weniger Defekte, bessere Kontrolle über die Eigenschaften des Photoresists sowie zuverlässige Ergebnisse. Das System läuft 24/7 ohne unplanmäßige Stillstände, und das thermische Budget pro Zyklus bleibt innerhalb der Spezifikationen.
Warum das bei der Bearbeitung von Photoresist funktioniert
Der Schritt der Entfernung des Photoresists erfolgt nach dem sanften und starken Trocknen – zu diesem Zeitpunkt sind die verbleibenden Schichten besonders empfindlich. Unser Heizer hält die Temperatur in der Kammer konstant, sodass die Lösungsmittel gleichmäßig verdunsten und die Polymere gereinigt werden. Dadurch werden kürzere Zykluszeiten erreicht, und Energie wird eingespart, da der Heizer schnell auf die gewünschte Temperatur kommt und diese anschließend konstant hält. Dadurch erweitern sich die möglichen Prozessbedingungen, die Anzahl der Nacharbeiten nimmt ab, und die Produktion läuft reibungslos weiter.
Was bei der Installation beachtet werden muss
Die Abmessungen der Kammer sowie die Anschlüsse müssen übereinstimmen – wir liefern dazu Dimensionenzeichnungen sowie Anschlusspläne für die gängigen Geräte. Der Heizer erreicht seine volle Leistung nur dann, wenn die Abdichtungen der Kammer in Ordnung sind und der Gasfluss ausgeglichen ist. Nach Wartungsarbeiten ist eine kurze Aufwärmphase erforderlich, um wieder stabile Bedingungen zu schaffen. Bei der Integration muss die Ausrichtung so eingestellt werden, dass die gewünschte Homogenität gewährleistet bleibt.