Aufrüstung der Ausrüstung für Reinräume in der Fabrik

Mon, 27 Jul 2026 15:56:58 +0800

Kohlenstoffeinsparung in der Halbleiterfertigung: Warum Infrarotheizung tatsächlich funktioniert
Wenn man versucht, in einer Halbleiterfertigungsanlage Kohlenstoffneutralität zu erreichen, wird schnell klar, dass es nicht ausreicht, einfach nur „grüne Energie-Zertifikate“ zu kaufen. Man muss sich auch mit den thermischen Belastungen auseinandersetzen.

Man denke an herkömmliche Widerstandsheizungen oder große Konvektionsöfen – sie sind im Grunde genommen Energieverschwender. Sie verbringen die Hälfte ihrer Zeit damit, die Luft sowie die Wände des Ofens zu erwärmen, bevor überhaupt eine Temperaturänderung am Wafer spürbar wird. Das ist Verschwendung von Energie.

Ausrüstung on Industrial Quartz Heating Systems

Aufrüstung der Ausrüstung für Reinräume in der Fabrik