http://industrial-qz-heater.com/de/tags/ellipsometrie/ Recent content in Ellipsometrie on Industrial Quartz Heating Systems Hugo de Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/de/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/de/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Ellipsometrie Wafer Probheizer"></p> <p>In der Fertigungshalle ist die Genauigkeit der Ellipsometriedaten nur dann relevant, wie hoch die Temperatur der Sonde ist. Eine Abweichung von 1°C während des Weichbrennens oder Hartbrennens führt zu Veränderungen in der Dicke des Fotolacks sowie im CD-Wert. Dadurch kann das Wafer aus dem <a href="https://o-yate.net">Prozess</a> ausgeschlossen werden. Wir haben einen Heizer für die Ellipsometriesonde entwickelt, der eine Genauigkeit von ±0,1°C gewährleistet – so <a href="https://henruite.com">bleibt</a> die Homogenität auf dem Wafer auf diesem Niveau und die Messwerte spiegeln den tatsä<a href="https://o-yate.com">chlichen</a> Prozesszustand wider, nicht die Temperaturschwankungen.</p>