IR on Industrial Quartz Heating Systems

Präziser IR Sensor für Wafern

Thu, 23 Jul 2026 09:31:54 +0800

Verhindern Sie, dass Ihre IR-Lampen Ihre Wafer zerstören
In einer Anlage mit hohem Produktionsvolumen bedeutet das Ausfallen einer Lampe nicht nur Ärger oder einen gewissen Stillstand – es ist ein Albtraum. Wenn die Quarzkapsel zerbricht, fallen Glasstücke und Metallteilchen direkt auf die Wafer. Das führt zu einer Kontaminationssituation, mit der man wirklich nicht umgehen möchte. Genau deshalb bauen wir unsere IR-Sensoren und Heilungslampen auf diese Weise.

Die Unordnung in Schach halten
Wir verwenden für die Kapseln hochreinen synthetischen Quarz. Warum? Weil er dem schnellen Aufheizen und Abkühlen standhalten kann, ohne unter Druck zu zerbrechen. Doch damit hören wir nicht auf. Wir fügen eine Schutzhülle oder eine spezielle Beschichtung hinzu. Stellen Sie sich das wie ein Sicherheitsnetz vor: Falls der Filament ausfällt, fängt die Hülle die Bruchstücke ab, bevor sie die Wafer berühren können. So bleiben Ihre Wafer unbeschädigt. Einfach so.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Thu, 23 Jul 2026 09:12:27 +0800

Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Die Wahrheit über Aluminiumreflektoren
In einer intelligenten Fertigungseinrichtung wird Wärme meist als Störfaktor angesehen. Doch wenn man es anders betrachtet, ist Wärme eigentlich ein nützliches Werkzeug. Das Problem ist nur, dass der größte Teil dieser Energie einfach in das Gehäuse der Maschine abfließt – ohne irgendeinen Nutzen für Sie zu haben. Hier kommen die Aluminiumreflektoren ins Spiel. Sie fungieren im Grunde wie Spiegel für Infrarotstrahlung und leiten diese Energie wieder zurück auf die zu behandelnde Oberfläche.

Eindeutige Wärme für 300 mm Wafer IR

Thu, 18 Jun 2026 00:44:19 +0800

Beobachten Sie, wie ein 300-mm-Wafer aus dem Spin-Coater herauskommt. Der Fotolack befindet sich bereits auf dem Wafer und ist bereit zur Verarbeitung – doch wenn die Erhitzung nicht gleichmäßig erfolgt, geht nicht nur ein Wafer verloren. Zudem wird die Gesamtleistung der Lithografieanlage beeinträchtigt. Wir haben unser IR-System für 300-mm-Wafer entwickelt, um dieses Problem zu lösen – dadurch wird die Wärme genau dort abgegeben, wo sie benötigt wird.

Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler, um eine schnelle, direkte Energieübertragung zu ermöglichen. Dadurch bleibt die Temperatur auf der gesamten Oberfläche des Wafer bei ±0,1°C konstant – und das auch über mehrere Prozessschritte hinweg. Die Anlage ist außerdem kompatibel mit Reinräumen der Klasse 1–100. Zudem entstehen keine Staubpartikel, sodass der Raum stets sauber bleibt.