http://industrial-qz-heater.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Industrial Quartz Heating Systems Hugo de Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensor Wafern"></p> <p><strong>Trocknen von MEMS-Wafern mit Infrarotstrahlen: Der effektive Ansatz</strong><br> Beim Herstellen von MEMS-Sensoren möchte man auf keinen Fall, dass ein Tropfen Feuchtigkeit oder ein Schmutzfleck durch Lösungsmittel die Mikrostruktur zerstört. Es handelt sich dabei um ein delicates Gleichgewicht – die Wafer müssen trocken sein, aber man kann sie nicht einfach mit Hitze behandeln und darauf hoffen, dass alles gut wird.</p> <p>Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotheizer. Anstatt mit heißer Luft oder unzuverlässigen chemischen Trocknungsmitteln zu arbeiten, sendet das Infrarotlicht Energie direkt in das Substrat. Das ist effizient und sauber.</p>