Mittelfrequentquarzheizröhre

Wed, 24 Jun 2026 00:41:10 +0800

In der Fertigungshallte betrachten wir das Trocknen des Photoresists nicht einfach als eine rein thermische Prozessschritte. Es handelt sich dabei vielmehr um einen wichtigen Faktor, der die Qualität der hergestellten Produkte beeinflusst. Eine Abweichung von 2 °C beim Weich- oder Harttrocknen kann dazu führen, dass die CD-Chips beschädigt werden, dass an den Schnittstellen Rost entsteht – und dass die Qualität der Produkte von Schicht zu Schicht stark schwankt. Mittelwellen-K Quartzheizungen sind die praktische Lösung, um diese Schwankungen auszuschließen.

Was wirklich wichtig ist, ist die Kontrolle auf Wafer-Ebene. Mittelwellen-Infrarotstrahlung dringt effektiv in den Photoresist sowie in das Quarzmaterial ein – dadurch wird eine schnelle, gleichmäßige Erwärmung erreicht, bei niedriger thermischer Inertie. Dadurch entsteht ein stabiles Trockenprofil sowie eine Homogenität der Temperaturen auf Wafer-Ebene innerhalb von ±0,1 °C. Zudem bleibt die Genauigkeit über verschiedene Schichten hinweg konstant. Die Heizrohre bleiben außerdem sauber: Hochreines Quarzmaterial sorgt dafür, dass es kaum Gase gibt und keine Partikel entstehen – somit muss man sich nicht mit Verunreinigungen herumschlagen, während man versucht, die erforderlichen Dimensionen einzuhalten.

Mittel on Industrial Quartz Heating Systems

Mittelfrequentquarzheizröhre