Röhre on Industrial Quartz Heating Systems

Zweiläufige mit Gold überzogene Lampe

Sat, 18 Jul 2026 01:50:17 +0800

Hören Sie auf, auf heiße Luft zu warten – warum wir auf goldüberzogene Infrarotlampen umgestiegen sind
Wenn Sie schon einmal mit der Verwendung von heißer Luft gearbeitet haben, kennen Sie sicherlich das Problem: Man heizt die Luft auf – diese wiederum erhitzt schließlich den zu verarbeitenden Gegenstand. In der tiefen Halbleiterbearbeitung ist diese Verzögerung fatal – sie macht den Prozess einfach zu langsam.

Wir haben beschlossen, nicht weiter mit Luft zu arbeiten, sondern direkt zur Quelle der Wärme zu gehen. Wir verwenden goldüberzogene Infrarotlampen mit zwei Röhren. Anstelle dazu, den ganzen Raum zu erwärmen, senden diese Lampen die Energie direkt auf das Werkstück. Das ist wie der Unterschied zwischen dem Versuch, sich die Hände vorzuwärmen, indem man das ganze Haus erhitzt, und dem Verhalten, wenn man die Hände einfach über ein Feuer hält.

Goldröhren Infrarotheizer

Sat, 27 Jun 2026 01:04:42 +0800

Ein angenehmer Abend kann sich schlagartig ändern, wenn die Wärme nicht dorthin gelangt, wo sie benötigt wird. Man tritt in den Außenbereich mit der Erwartung auf Komfort – doch stattdessen muss man mit Kälte kämpfen, während das Gesicht von der Hitze gequält wird. Herkömmliche Heizgeräte verschwenden oft Energie, indem sie Luft erhitzen oder die Wärme in einem bestimmten Bereich konzentrieren. Wir haben den Gold Tube Infrared Heater entwickelt, um dieses Problem zu lösen – indem wir die Wärme wie Licht behandeln und sie mithilfe von Optik gezielt lenken.

Mittelfrequentquarzheizröhre

Wed, 24 Jun 2026 00:41:10 +0800

In der Fertigungshallte betrachten wir das Trocknen des Photoresists nicht einfach als eine rein thermische Prozessschritte. Es handelt sich dabei vielmehr um einen wichtigen Faktor, der die Qualität der hergestellten Produkte beeinflusst. Eine Abweichung von 2 °C beim Weich- oder Harttrocknen kann dazu führen, dass die CD-Chips beschädigt werden, dass an den Schnittstellen Rost entsteht – und dass die Qualität der Produkte von Schicht zu Schicht stark schwankt. Mittelwellen-K Quartzheizungen sind die praktische Lösung, um diese Schwankungen auszuschließen.

Was wirklich wichtig ist, ist die Kontrolle auf Wafer-Ebene. Mittelwellen-Infrarotstrahlung dringt effektiv in den Photoresist sowie in das Quarzmaterial ein – dadurch wird eine schnelle, gleichmäßige Erwärmung erreicht, bei niedriger thermischer Inertie. Dadurch entsteht ein stabiles Trockenprofil sowie eine Homogenität der Temperaturen auf Wafer-Ebene innerhalb von ±0,1 °C. Zudem bleibt die Genauigkeit über verschiedene Schichten hinweg konstant. Die Heizrohre bleiben außerdem sauber: Hochreines Quarzmaterial sorgt dafür, dass es kaum Gase gibt und keine Partikel entstehen – somit muss man sich nicht mit Verunreinigungen herumschlagen, während man versucht, die erforderlichen Dimensionen einzuhalten.