Am besten bewertete RTP Lampe für die Fertigung

Sat, 20 Jun 2026 01:39:31 +0800

In der Fertigungsstätte reicht schon eine Abweichung von 0,5 °C bei der Erhitzung des Fotoresists aus, um ganze Chargen zu verschwenden. Deshalb haben wir unsere RTP-Lampe so konstruiert, dass diese Unsicherheiten in allen thermischen Prozessen – egal ob sanfte oder starke Erhitzung sowie schnelle thermische Verarbeitung – beseitigt werden, ohne dass dabei ein Risiko durch Partikel entsteht.

Was wirklich wichtig ist:
Die Lampe verwendet Halogenelemente mit kurzer Wellenlänge in einem Quarzkörper. Dadurch erfolgt die Energieübertragung schnell und effizient, mit präziser Spektralkontrolle. In der aktiven Zone bleibt die Temperatur auf dem Wafer bei ±0,1 °C konstant – dadurch bleiben die Profile der Lithografie- und Schichttechnologien von Charge zu Charge gleich.

RTP on Industrial Quartz Heating Systems

Am besten bewertete RTP Lampe für die Fertigung