نگهداری اتاقهای تمیز در حالت تمیز: واقعیت درباره استفاده از گرمایش مادون قرمز
اگر شما یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ دارید، قطعاً با مشکلات ناشی از تولید ذرات کوچک آشنا هستید. حتی یک ذره گرد و غبار کوچک یا مقدار کمی گاز، میتواند باعث تخریب تمام وافرهای شما شود.
مشکل اینجاست که اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، برای این منظور طراحی نشدهاند؛ زیرا هنگام گرم شدن و سرد شدن، ذرات ریزی را از خود ترشح میکنند. این موضوع، یک مشکل مداوم است.
ما راه بهتری پیدا کردیم؛ از لولههای کوارتز با خلوص بالا و لایههای بازتابنده طلا استفاده میکنیم. روش سادهای است، اما مؤثر است.
چرا طلا؟
مشکل لامپهای کوارتز استاندارد این است که گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ این کار، هدررفت انرژی است. با اضافه کردن لایه نازک طلا به پشت لوله، میتوانیم تمام انرژی مادون قرمز را به سمت جلو هدایت کنیم. در واقع، میزان گرمایی که به سطح وافرها میرسد، دو برابر میشود. ما از طلا استفاده میکنیم؛ زیرا طلا بهترین ماده برای بازتابندگی انرژی مادون قرمز است، و برخلاف سایر مواد، در دماهای بالا اکسید نمیشود.
همچنین، ما از شیشههای معمولی استفاده نمیکنیم؛ بلکه از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم. این کار باعث میشود که وقتی دما افزایش مییابد، نگران مهاجرت یونهای تصادفی از لوله به سمت سیلیکون نباشید؛ در نتیجه، کوارتز در حالت تمیز باقی میماند.
سرعت، گرما، و محدودیتها
این لامپها برای پردازش سریع حرارتی طراحی شدهاند؛ زیرا طلا انرژی را متمرکز میکند، بنابراین محدوده گرمایی کمتری وجود دارد. شما میتوانید به سرعت به دمای مورد نظر برسید؛ در نتیجه، وافرها کمتر تحت فشار قرار میگیرند.
اما باید مراقب باشید؛ چون وقتی این لامپها را تا حد اقصا فعال میکنید، قطعات مربوط به سیستمهای خنککنندگی تحت فشار قرار میگیرند. من همیشه به مردم توصیه میکنم که مراقب سیستمهای خنککنندگی و سیلهای مربوط به اتاق تمیز باشند؛ زیرا نمیخواهید که فشار حرارتی باعث ترک خوردن کوارتز شود.
نحوه استفاده از این لامپها
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای لامپهای قدیمی استفاده کرد؛ نیازی به تعمیر کل تجهیزات نیست.
یکی از مزایای این لامپها این است که میتوانید از آنتنهای بازتابنده بزرگ خارجی استفاده نکنید؛ زیرا این آنتنها محل تجمع گرد و غبار هستند و تمیز کردن آنها دشوار است. از آنجایی که بازتابندگی در خود لوله انجام میشود، تعداد قطعات در اتاق تمیز کمتر میشود. تعداد کمتر قطعات، به معنای چرخه تمیزکاری سریعتر است؛ و چرخه تمیزکاری سریعتر، به معنای حفظ تعداد ذرات در سطح مورد نظر است.