روی کف ویفر، مراحل پخت و عملآوری چسب تعیینکننده نرخ بهرهوری خط تولید هستند. تغییر دمای ۱.۵ درجه سانتیگراد در پروفایل پخت سخت میتواند تعداد زیادی از ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری را به ضایعات تبدیل کند. نیاز دارید که حرارت دقیقاً در محل تعیین شده توسط دستورالعمل، در هر شیفت اعمال شود.
از نظر فنی چه چیزی اهمیت دارد
ماژولهای عملآوری مادونقرمز ما یکنواختی دمای سطح ویفر را در ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سراسر زیرلایه حفظ میکنند و تکرارپذیری دما بین دستهها در ±۰.۵ درجه سانتیگراد است. تابشدهندهها از نوع مادونقرمز موج کوتاه بوده و با جذب رزین حساس به نور و چسب نیمههادی تنظیم شدهاند. این موضوع تأخیر حرارتی را کاهش داده و امکان افزایش سریع دما بدون عبور از مقدار هدف را فراهم میکند.
سیستم در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ اجرا میشود. ما تولید ذرات صفر را در اندازههای کمتر از ۰.۱ میکرومتر تضمین میکنیم و سیستم به صورت ۲۴/۷ بدون توقف برنامهریزینشده کار میکند. مصرف انرژی نسبت به صفحات گرمکننده سنتی ۲۵–۳۵ درصد کاهش یافته و بودجه حرارتی دقیقتر باعث گسترش محدوده فرآیندی میشود.
چرا در لیتوگرافی و بستهبندی کاربرد دارد
در لیتوگرافی، پخت نرم و سخت با محدودیتهای دقیق زمان-دمایی انجام میشود. در بستهبندی، عملآوری چسب باید به اهداف چسبندگی برسد بدون اینکه گازدهی داشته باشد. مادونقرمز مستقیماً فیلم را گرم میکند، نه حامل را، بنابراین کنترل ابعاد بحرانی یکنواختتر و مشکلات مربوط به لبههای چسب کاهش مییابد.
زمان چرخه کوتاهتر شده، ضایعات کاهش مییابد و نگهداری کمتر میشود—دیگر نیازی به آمادهسازی صفحات گرمکننده یا پاکسازی رسوبات ناشی از پخت نیست. در خطوط بستهبندی، همان دقت باعث ایجاد زیرپرکن بدون حفره و پروفایلهای عملآوری تکرارشونده روی زیرلایههای ۳۰۰ میلیمتری میشود.
جزئیات عملیاتی
عملآوری مادونقرمز خط دید مستقیم است، بنابراین سایهافتادگی روی توپوگرافیهای ناهموار ممکن است رخ دهد. ما آرایه تابشدهنده و اپتیک را متناسب با ارتفاع پشته و نمایه ویژگیهای شما اندازهگیری میکنیم و توصیه میکنیم یک آزمایش کوتاه اعتبارسنجی روی دستگاههای نماینده انجام شود تا پروفایل حرارتی تثبیت شود.
نصب نیازمند تغذیه اختصاصی ۲۴۰ ولت و خروجی هوا با استاندارد اتاق تمیز است. ادغام در خطوط موجود ساده است، اما پس از هر تغییر ابزار باید نقاط تنظیم حرارتی مجدداً تأیید شوند.