گرمکن پروب ویفر الیپسومتری

در کارخانه‌های تولید، داده‌های حاصل از روش الیپسومتری تنها در صورتی ارزشمند هستند که دمای پروب نیز در حد مطلوب باشد. تغییر دما به میزان ۱ درجه...