http://industrial-qz-heater.com/fa/tags/%D8%A7%D9%84%DB%8C%D9%BE%D8%B3%D9%88%D9%85%D8%AA%D8%B1%DB%8C/ Recent content in الیپسومتری on Industrial Quartz Heating Systems Hugo fa Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/fa/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/fa/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="گرمکن پروب ویفر الیپسومتری"></p> <p>در کارخانه‌های تولید، داده‌های حاصل از روش الیپسومتری تنها در صورتی ارزشمند هستند که دمای پروب نیز در حد مطلوب باشد. تغییر دما به میزان ۱ درجه سانتی‌گراد در فرآیندهای حرارتی، می‌تواند باعث تغییر ضخامت فوتورزیست و مقدار CD شود؛ این امر می‌تواند منجر به خرابی ویفر شود. ما هیتر مربوط به روش الیپسومتری را طوری طراحی کرده‌ایم که هیچ‌گونه تغییر دمایی رخ ندهد؛ یعنی یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند. بنابراین، داده‌های حاصل از این روش، نشان‌دهنده پیشرفت فرآیند هستند، نه تغییرات دما.</p>