http://industrial-qz-heater.com/fa/tags/mems/ Recent content in MEMS on Industrial Quartz Heating Systems Hugo fa Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/fa/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/fa/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="هیتر خشککن ویفر حسگر MEMS"></p> <p>خشک کردن ویفرهای MEMS با استفاده از موج‌های مادون قرمز: روشی کارآمد<br> هنگام ساخت حسگرهای MEMS، آخرین چیزی که می‌خواهیم این است که حتی یک قطره رطوبت یا لکه‌ای از مواد حل‌کننده، ساختار ریز مورد نظر را خراب کند. این یک تعادل بسیار دقیق است؛ شما نیاز دارید که ویفرها کاملاً خشک باشند، اما نمی‌توانید فقط از حرارت برای خشک کردن آن‌ها استفاده کنید.</p> <p>به همین دلیل، از گرم‌کن‌های موج‌های مادون قرمز استفاده می‌کنیم. در حالی که در روش‌های سنتی، هوای گرم یا مواد شیمیایی برای خشک کردن استفاده می‌شود، موج‌های مادون قرمز انرژی را مستقیماً به سطح ویفر منتقل می‌کنند. این روش، روشی مستقیم و بدون عوارض جانبی است.</p>