Sur le plancher de fabrication, une lampe de séchage de wafer qui lâche à 3 h du matin n’est pas une « maintenance ». C’est un arrêt de ligne. Les...

Sur le sol de fabrication, la dérive thermique lors du séchage des plaquettes est la seule chose qu’une cellule de lithographie ne peut tout...

Sur le plancher de lithographie, une plaquette sort du bain de nettoyage trempée. Si le sécheur IR ne suit pas, des traces d’eau apparaissent, le...