http://industrial-qz-heater.com/fr/tags/sonde/ Recent content in Sonde on Industrial Quartz Heating Systems Hugo fr Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/fr/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/fr/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Chauffeur de sonde de wafer par ellipsométrie"></p> <p>Sur le plan de fabrication, les données d’éllipsométrie ne sont valables que dans la mesure où la tempé<a href="https://henruite.com">rature</a> de la sonde est maîtrisée avec précision. Une déviation de 1°C pendant le processus de cuisson peut entraîner des variations de l’épaisseur du photorésiste et de sa largeur, ce qui peut conduire à l’échec du procédé. Nous avons conçu un chauffage pour la sonde d’éllipsométrie qui permet une tolérance nulle en ce qui concerne ces fluctuations de température : l’uniformité à la surface de la wafer reste inférieure ou égale à ±0,1°C, ce qui garantit que les mesures reflètent bien le cours du processus, et non les fluctuations de température.</p>