http://industrial-qz-heater.com/he/tags/%D7%90%D7%9C%D7%99%D7%A4%D7%A1%D7%95%D7%9E%D7%98%D7%A8%D7%99%D7%94/ Recent content in אליפסומטריה on Industrial Quartz Heating Systems Hugo he Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/he/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/he/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="מחמם לבדיקת אליפסומטריה של שבבים"></p> <p>בחדר הייצור, ערכי האליפסומטריה תלויים רק בטמפרטורה של הפרווה. שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום יגרום לשינוי בעובי הפוטורזיסט וב-CD, וזה עלול לגרום לכך שהוואפר לא יעמוד בתנאים הנדרשים. יצרנו מערכת חימום לפרווה שמאפשרת עבודה ללא כל סטייה – האחידות של הטמפרטורה על פני הוואפר נשארת בטווח של ±0.1°C, כך שהמדידות יהיו אמינות ולא יושפעו משינויי הטמפרטורה.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> המערכת משתמשת ברכיבים בעלי מסה תרמית נמוכה ומותאמים לטווח האור הקרוב, יחד עם מסלול תרמי מקוורץ, כדי למנוע שינויי טמפרטורה על פני הוואפר. נקודות העצירה של הטמפרטורה נשארות בטווח של ±0.1°C, ושליטה בקצב החימום מאפשרת שמירה על טמפרטורה קבועה של הפוטורזיסט. חוקי החדר הנקי נשמרים – החומרים והחלקים המשמשים במערכת נבחרו כך שיתאימו לסטנדרטים של חדרים נקיים מסוג 1–100. העיצוב של המערכת מונע היווצרות של חלקיקים במהלך העבודה. היצוא של המערכת נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי בעוצמה של פחות מ-5% במהלך הפעולה הרציפה.</p>