מחמם לבדיקת אליפסומטריה של שבבים

בחדר הייצור, ערכי האליפסומטריה תלויים רק בטמפרטורה של הפרווה. שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום יגרום לשינוי בעובי הפוטורזיסט וב-CD, וזה עלול לגרום לכך...