חיממה להסרת חומר הפוטורזיסט

בחדרי הליתוגרפיה, אי אפשר להרשות לעצמנו שינויים תרמיים בתא שבו נמצא הפוטורזיסט. שינויי טמפרטורה עלולים לגרום לנזקים בדפוסים שנוצרים, ולכך שהתוצאות לא...