फैब फ्लोर पर, 3 बजे सुबह एक वेफर ड्रायर लैंप का खराब होना “रखरखाव” नहीं है। यह एक लाइन स्टॉप है। सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक तापमान में...

फैब फ्लोर पर, वेफर सुखाने के दौरान थर्मल ड्रिफ्ट वह एक चीज है जिसे एक लिथोग्राफी सेल बर्दाश्त नहीं कर सकता। फोटोरेसिस्ट सतह पर कुछ डिग्री की असमानता...