Tabung pemanas kuarsa gelombang sedang

Wed, 24 Jun 2026 00:41:10 +0800

Di lini produksi, proses pemanasan photoresist tidak dianggap sekadar langkah termal biasa saja. Proses ini sebenarnya merupakan faktor penting yang mempengaruhi kualitas produk. Perubahan suhu sebesar 2°C selama proses pemanasan akan menyebabkan pergeseran posisi CD, munculnya endapan di antara lapisan-lapisan tersebut, dan membuat kualitas produk menjadi tidak stabil dari satu shift ke shift berikutnya. Pemanas berbentuk tabung kuarsa gelombang menengah merupakan cara yang efektif untuk mengurangi variabilitas tersebut.

Yang benar-benar penting adalah kontrol suhu pada tingkat wafer itu sendiri. Panas inframerah gelombang menengah dapat menembus photoresist dan kuarsa dengan baik, sehingga memberikan pemanasan yang cepat dan efisien, dengan inersia termal yang rendah. Dengan demikian, profil pemanasan menjadi lebih stabil, dan keseragaman suhu pada tingkat wafer mencapai ±0,1°C. Selain itu, proses pemanasan ini juga memiliki tingkat repetibilitas yang tinggi, sehingga hasil produksinya tetap konsisten dari satu batch ke batch berikutnya. Tabung pemanas ini juga tetap bersih, karena terbuat dari kuarsa berkualitas tinggi yang mampu mengurangi emisi gas dan mencegah munculnya partikel-partikel pengganggu. Dengan demikian, Anda tidak perlu khawatir akan masalah kontaminasi saat berusaha mempertahankan dimensi-dimensi penting dari produk tersebut.

Sedang on Industrial Quartz Heating Systems

Tabung pemanas kuarsa gelombang sedang