http://industrial-qz-heater.com/id/tags/sonda/ Recent content in Sonda on Industrial Quartz Heating Systems Hugo id Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/id/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/id/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Pemanas probe untuk ellipsometri wafer"></p> <p>Di lantai pabrik, data yang <a href="https://o-yate.com">dihasilkan</a> oleh alat ellipsometri hanya berharga sejauh suhu probe tersebut memungkinkan. Perubahan suhu sebesar 1°C selama proses soft bake atau hard bake akan mengubah ketebalan lapisan fotoresist dan nilai CD. Hal ini akan menyebabkan wafer tidak sesuai dengan spesifikasi yang ditentukan. Kami merancang pemanas probe ellipsometri sedemikian rupa sehingga tidak ada toleransi terhadap fluktuasi suhu tersebut; keseragaman suhu di permukaan wafer tetap berada dalam kisaran ±0,1°C. Dengan demikian, hasil pengukuran akan mencerminkan kondisi <a href="https://goldisgood.com">prosesnya</a>, bukan fluktuasi suhu.</p>