Riscaldatore per sonda a elipsometria per wafer

Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800

Nella sala di produzione, i dati forniti dall’ellipsometria hanno valore soltanto se la temperatura della sonda è corretta. Una variazione di 1°C durante il processo di cottura può influire sull’espessore del fotorestatto e sul suo spessore effettivo; questo, a sua volta, può causare problemi durante il processo di produzione. Abbiamo progettato un riscaldatore per le sonde di ellissometria in modo che funzioni con tolleranze estremamente basse: l’uniformità di temperatura sul wafer rimane entro i ±0,1°C, così da garantire che le letture riflettano effettivamente lo stato del processo, e non le fluttuazioni di temperatura.

Ellissometria on Industrial Quartz Heating Systems

Riscaldatore per sonda a elipsometria per wafer