Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS

Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800

Asciugamento dei wafer MEMS con raggi infrarossi: un metodo efficace ed efficiente
Quando si producono sensori MEMS, l’ultima cosa di cui si ha bisogno è che una goccia di umidità o qualche traccia di solvente rovini la microstruttura del componente. È necessario trovare un equilibrio delicato: i wafer devono essere completamente asciutti, ma non si può semplicemente sottoporli a calore elevato, sperando nel meglio.

Ecco perché utilizziamo riscaldatori a radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda. Invece di utilizzare aria riscaldata o agenti chimici per l’asciugamento, i raggi infrarossi trasmettono energia direttamente sul substrato. È un metodo diretto e pulito.

MEMS on Industrial Quartz Heating Systems

Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS