http://industrial-qz-heater.com/ja/tags/%E3%83%90%E3%83%AB%E3%83%96/ Recent content in バルブ on Industrial Quartz Heating Systems Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 01:01:39 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ja/posts/wafer-dryer-lamp-replacement-bulb/ Sun, 07 Jun 2026 01:01:39 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ja/posts/wafer-dryer-lamp-replacement-bulb/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウェハードライヤー用ランプ交換用バルブ"></p> <p>FABフロアで、午前3時にウェハードライヤーのランプが切れるのは、「メンテナンス」ではなくライン停止を意味する。ソフトベイクおよびハードベイクの温度が徐々にずれ、フォトレジストのプロファイルが変化し、粒子数が急増する。結果として不良、手直し、ウェハースタートのロスに直面することになる。当社はその瞬間を防ぐために交換ランプを設計した。</p>