http://industrial-qz-heater.com/ja/tags/%E6%B3%A2/ Recent content in 波 on Industrial Quartz Heating Systems Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 00:41:10 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ja/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Wed, 24 Jun 2026 00:41:10 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ja/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="中波クォーツヒーターチューブ"></p> <p>製造現場では、フォトレジストの焼成処理を単なる加熱工程として扱うことはありません。それは、ウェーハの寸法を制御するための重要な手段なのです。ソフトベイクやハードベイク時に2℃程度の<a href="https://o-yate.com">偏差</a>が生じると、CDの位置が変わったり、界面に汚れが残ったりして、各シフトごとに歩留まりが不安定になってしまいます。このようなばらつきを解消するためには、中波長の石英ヒーターが有効です。</p>