http://industrial-qz-heater.com/ja/tags/300mm/ Recent content in 300mm on Industrial Quartz Heating Systems Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 00:44:19 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Thu, 18 Jun 2026 00:44:19 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="300mmウェーハに対する均一な加熱 IR方式"></p> <p>300mmウェーハがスピンコーターから取り出される様子を見てみましょう。フォトレジストはそこにあって、すぐに処理を開始できる状態です。もし加熱が均一でなければ、1枚のウェーハだけを失うだけではありません。生産効率も低下し、リソグラフィーシステム全体の熱管理にも影響が出ます。私たちは、この問題を解決するために300mmウェーハ用のIRシステムを開発しました。これにより、必要な場所に均一な熱を供給することができます。</p>