IR on Industrial Quartz Heating Systems

ウェーハ用高精度IRセンサー

Thu, 23 Jul 2026 09:31:54 +0800

IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。
大量生産の半導体製造において、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。
石英のケースが割れると、ガラス片や金属の破片がウェーハの上に降り注ぎます。これは避けたいと思うほどの汚染事態です。だからこそ、私たちはIRセンサーや加熱ランプをこのように設計しているのです。

赤外線ランプ用アルミニウム反射板

Thu, 23 Jul 2026 09:12:27 +0800

熱を無駄にしないで：アルミニウム反射板の真実
スマートな製造現場では、熱は一般的に邪魔なものと見なされがちです。しかし、別の視点から見れば、実際には熱は有効なツールなのです。問題は、そのエネルギーのほとんどが機械の筐体の中に漏れてしまい、何の役にも立たないということです。そこで役立つのがアルミニウム反射板です。これは赤外線を鏡のように反射させ、そのエネルギーを直接ワークピースに戻すのです。最良の点は、電力供給を増やしたり、より多くの電流を使ったりする必要がないということです。これこそが賢明な方法です。

なぜアルミニウムなのか？
赤外線ランプの特徴は、熱をあらゆる方向に放出することです。反射板がなければ、エネルギーの半分が無駄に捨てられてしまいます。私たちは高純度のアルミニウムを使用します。なぜなら、アルミニウムは赤外線を非常によく反射するからです。デジタル生産ラインにこの反射板を使えば、熱の影響範囲が大幅に狭まります。そして、センサーも正確に温度勾配を測定できるようになります。なぜなら、熱が本来あるべき場所に留まるからです。

300mmウェーハに対する均一な加熱 IR方式

Thu, 18 Jun 2026 00:44:19 +0800

300mmウェーハがスピンコーターから取り出される様子を見てみましょう。フォトレジストはそこにあって、すぐに処理を開始できる状態です。もし加熱が均一でなければ、1枚のウェーハだけを失うだけではありません。生産効率も低下し、リソグラフィーシステム全体の熱管理にも影響が出ます。私たちは、この問題を解決するために300mmウェーハ用のIRシステムを開発しました。これにより、必要な場所に均一な熱を供給することができます。