http://industrial-qz-heater.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Industrial Quartz Heating Systems Hugo ja Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>赤外線を使ったMEMSウェーハの乾燥：効率的な方法<br> MEMSセンサーを製造する際に最も避けたいのは、わずかな水分や溶剤の汚れが微細な構造を壊してしまうことです。これは非常に微妙なバランスが求められます。ウェーハを完全に乾燥させる必要がありますが、単純に熱を当ててみるだけでは不十分です。</p>