공장 건조 공정의 에너지 감사
드라이닝 과정에서 발생할 수 있는 화재 걱정은 그만하세요.
화학 처리 후 웨이퍼나 부품을 건조시킬 때는 마치 불과 싸우는 것과 같습니다. 공기 중에는 VOC와 인화성 기체들이 존재하며, 일반적인 적외선 램프는 오히려 위험 요소가 됩니다. 작은 스파크나 석영관의 미세한...
에너지 효율적인 웨이퍼 가열기
스마트 팩토리에서 올바른 열 제어 방법
인더스트리 4.0을 지향한다면, 이제는 기존의 열 처리 방식만으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 가열할 때는 적외선 시스템이 최선의 선택입니다. 적외선은 웨이퍼에 직접 작용하기 때문에, 웨이퍼에 닿지도 않...
에너지 절약형 반도체 히팅
히터가 웨이퍼의 품질을 해치는 것을 막으세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 공기 여과에 대해서는 이미 잘 알고 있으실 것입니다. 하지만 문제는, 열원들이 사실상 웨이퍼의 품질을 해치는 주범이라는 점입니다.
대부분의 일반적인 가열 요소들은 먼지를 발생시킵...
에너지 효율적인 히터
겨울 밤이 편안함과 전기 요금 사이의 줄다리기로 변한다면, 어떤 히터를 선택하느냐가 중요해집니다. 전기 오일식 히터는 먼저 공기를 따뜻하게 한 다음, 그 따뜻한 공기가 방 안을 천천히 퍼져나갑니다. 반면, 적외선 전기 히터는 태양과 같은 방식으로 직접 사람과 물체를...