http://industrial-qz-heater.com/ko/tags/%EC%97%98%EB%A6%BD%EC%86%8C%EB%AF%B8%ED%84%B0/ Recent content in 엘립소미터 on Industrial Quartz Heating Systems Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ko/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ko/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="엘립소미터 웨이퍼 프로브 히터"></p> <p>팹에서는 엘립소미터 측정 데이터의 가치는 프로브의 온도에 따라 결정됩니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변화가 있어도 포토레지스트의 두께와 CD 값이 변하게 되고, 그로 인해 웨이퍼가 실패할 수 있습니다. 저희는 이러한 온도 변동을 전혀 허용하지 않도록 엘립소미터용 웨이퍼 프로브 히터를 설계했습니다. 웨이퍼 전체의 온도는 ±0.1°C 내로 유지되므로, 측정값은 온도 변동이 아닌 공정 자체를 반영합니다.</p>