http://industrial-qz-heater.com/ko/tags/%EC%99%80%EC%9D%B4%ED%8D%BC/ Recent content in 와이퍼 on Industrial Quartz Heating Systems Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ko/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ko/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="엘립소미터 웨이퍼 프로브 히터"></p> <p>팹에서는 엘립소미터 측정 데이터의 가치는 프로브의 온도에 따라 결정됩니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변화가 있어도 포토레지스트의 두께와 CD 값이 변하게 되고, 그로 인해 웨이퍼가 실패할 수 있습니다. 저희는 이러한 온도 변동을 전혀 허용하지 않도록 엘립소미터용 웨이퍼 프로브 히터를 설계했습니다. 웨이퍼 전체의 온도는 ±0.1°C 내로 유지되므로, 측정값은 온도 변동이 아닌 공정 자체를 반영합니다.</p> http://industrial-qz-heater.com/ko/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Thu, 18 Jun 2026 00:44:19 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ko/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="300mm 웨이퍼용 균일한 열 처리 IR"></p> <p>300mm 웨이퍼가 스핀 코터에서 나오는 과정을 확인해 보세요. 포토레지스트가 그 자리에 있으며, 이제 설정될 준비가 되어 있습니다. 만약 가열 과정이 균일하지 않다면, 단순히 하나의 웨이퍼만 손실되는 것이 아닙니다. 전체 리소그래피 장비의 성능도 저하됩니다. 우리는 이 문제를 해결하기 위해 300mm 웨이퍼용 IR 시스템을 개발했습니다. 이 시스템은 필요한 부분에 정확하게 열을 공급합니다.</p> http://industrial-qz-heater.com/ko/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ Wed, 17 Jun 2026 11:01:37 +0800 http://industrial-qz-heater.com/ko/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼 손상 테스트용 가열 램프"></p> <p>제조 현장에서는, 열원의 위치가 불안정하다면 ‘버닝인’ 과정도 아무런 의미가 없습니다. 척의 위치가 몇 도만 틀어져도, 성능이 불량한 칩들이 생기거나, 양질의 칩들이 폐기되게 됩니다. 우리는 이러한 변동성을 해결하기 위해 이러한 버닝인 램프를 개발했습니다.</p>