팹 램프용 석영 유리 실드
왜 쿼츠 실드가 팹 램프의 숨은 영웅인가요?
가열 및 경화 과정에서 에너지 낭비를 줄이고 싶다면, 아마도 IR 램프에 주목했을 것입니다. 하지만 램프 자체뿐만 아니라, 램프 앞에 위치한 쿼츠 유리 실드도 효율성을 높이는 데 중요한 역할을 합니다.
이러한 실드들은 마치...
중파 석영 히터 튜브
팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정을 단순한 열처리 단계로 여기지 않습니다. 이는 치수 제어에 매우 중요한 요소입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생겨도, CD의 형상이 변하고 인터페이스에 스컴이 생길 수 있으며, 그로 인해 생산...