Pemanas sistem pengering wafer industri

Fri, 05 Jun 2026 01:03:51 +0800

Di lantai fabrik, pengalihan haba semasa pengeringan wafer adalah satu perkara yang tidak boleh diterima oleh sel litografi. Bahkan beberapa darjah ketidaksamaan di permukaan fotoresist akan menunjukkan kesalahan overlay dan terus memberi kesan kepada hasil. Kami membina pemanas pengeringan wafer industri kami untuk menghilangkan variabel tersebut.

Ketepatan Inframerah: Kawalan Sub-Milimeter yang Boleh Dipercayai

Kami menjalankan pemancar inframerah gelombang pendek melalui sistem optik yang direka untuk membentuk medan haba dengan kawalan spatial sub-milimeter. Ganjarannya adalah keseragaman suhu wafer dalam julat ±0.1°C di seluruh tetingkap proses, dan kebolehulangan yang tahan dari shift ke shift, lot ke lot. Profil soft bake dan hard bake kekal stabil, kawalan CD menjadi lebih ketat, dan bajet haba kekal dalam spesifikasi. Selama lebih 5,000+ jam, output kekal stabil dengan kurang daripada 5% pengalihan intensiti, dan sistem ini direka untuk beroperasi 24/7 tanpa waktu henti yang tidak dirancang.

Sistem on Industrial Quartz Heating Systems

Pemanas sistem pengering wafer industri

Ketepatan Inframerah: Kawalan Sub-Milimeter yang Boleh Dipercayai