Op de fabrieksvloer is een drift van 2 °C in de soft bake voldoende om kritische dimensies te verschuiven en veel te verknallen. We hebben deze cleanroomoven gebouwd met infraroodverwarmers om die variabiliteit weg te nemen en u de thermische controle te geven die lithografie daadwerkelijk vereist.
Hier is het technische hart ervan. Korte golf infrarode elementen storten energie rechtstreeks in de lading, zodat de thermische vertraging afneemt en de temperatuur snel stabiliseert. Over de verwarmde zone behoudt u uniformiteit tot ±0,1 °C, en de stabiliteit van de setpoint blijft goed onder constante cyclus.
De verwarmingslichaam en bevestigingen zijn gespecificeerd voor gebruik in cleanrooms van Klasse 1–100—materialen met een lage gasafgifte en een ontwerp dat geen deeltjes afwerpt zodra u in steady state bent. Photoresist bake-profielen—soft bake en hard bake—blijven binnen specificaties, wat de opbrengst verhoogt en het afval vermindert.
In waferverwerking is het thermische budget beperkt. Deze verwarming voldoet aan de precisie die vereist is door internationale normen voor halfgeleiderapparatuur, zodat het functioneert als een gevalideerde, equivalente optie voor ovenupgrades en retrofits.
U krijgt een snellere opwarming naar het inbakken, strakkere CD-controle en een lager energieverbruik omdat de conversie-efficiëntie hoog is en de standby-verliezen minimaal zijn. Het draait 24/7 zonder ongeplande stilstand, en u krijgt herhaalbare resultaten shift na shift, gereedschap na gereedschap.
Nu, de praktische kant. Retrofitting betekent aandacht besteden aan de geometrie van de ovenkamer, het luchtstroompatroon en wat u heeft voor stroom- en controleinterfaces. De verwarming presteert het beste wanneer de lading consistent is en het bakrecept is verankerd aan de werkelijke waferstapel, niet alleen aan het oven-setpoint.
Plan een korte inbedrijfstellingsronde om het profiel vast te leggen, en verifieer vervolgens de deeltjesaantallen in de cleanroom voordat u naar productie gaat.