Houd je schone ruimte echt schoon: de waarheid over infraroodverwarming
Als je een Class 100-schone ruimte hebt, ken je vast al het probleem van stofdeeltjes die zich ophopen. Eén klein stofdeeltje of wat uitstoot kan al ervoor zorgen dat al je wafers beschadigd raken.
Het probleem is dat de meeste standaardverwarmingselementen hier niet voor bedoeld zijn. Ze genereren namelijk microscopisch kleine deeltjes wanneer ze opwarmen en afkoelen. Het is een constante strijd om de ruimte schoon te houden.
Wij hebben een betere oplossing gevonden. We gebruiken kwartsbuizen van hoge zuiverheid, met een goudcoatings die het licht weerkaatst. Simpel, maar effectief.
Waarom goud?
Standaardkwartslampen geven warmte in alle richtingen af. Dat is verspilling. Door een dunne laag goud op de achterkant van de buis aan te brengen, wordt al die infrarode energie naar voren gestuurd. Hierdoor wordt de hoeveelheid warmte die op het product terechtkomt verdubbeld. We gebruiken goud omdat dit materiaal het beste infraroodlicht weerkaatst. Bovendien oxidiseert het niet wanneer het heet wordt.
En we gebruiken geen gewoon glas, maar kwarts van hoge zuiverheid. Hierdoor hoef je je geen zorgen te maken over ionen die vanuit de buis naar het silicium kunnen migreren. De buis blijft dus schoon.
Snelheid, warmte – en de nadelen
Deze lampen zijn ontworpen voor snelle thermische verwerking. Omdat het goud de energie concentreert, is de warmteverspreiding veel nauwkeuriger. Je bereikt de gewenste temperatuur sneller, waardoor je wafers minder lang onder druk staan.
Maar wees voorzichtig: let goed op de vermogensdichtheid. Wanneer je deze lampen tot hun absolute limiet laat werken, gaan de uiteinden en sealings erg veel stress ondervinden. Ik raad iedereen aan om goed op hun vacuümeseals en koelingssystemen te letten. Je wilt immers niet dat de thermische stress ervoor zorgt dat de kwartsbuizen beschadigen.
Het in gebruik nemen in jouw proces
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk als vervanging kunnen worden gebruikt. Er is geen behoefte om je hele apparaatuur opnieuw te bouwen.
Een van de grote voordelen is dat je die grote externe reflectoren niet meer nodig hebt. Die dingen trekken juist veel stof aan en zijn moeilijk schoon te maken. Omdat de reflectie rechtstreeks in de buis zit, zijn er minder onderdelen in de ruimte.
Minder onderdelen betekent een snellere reinigingscyclus. En een snellere reinigingscyclus betekent dat het aantal stofdeeltjes precies op het gewenste niveau blijft.