Vervangingslamp voor wafer droger

Sun, 07 Jun 2026 01:01:39 +0800

Op de fab-vloer is een waferdrogerlamp die om 3 uur ’s nachts uitvalt geen “onderhoud.” Het is een lijnstilstand. Soft bake- en hard bake-temperaturen beginnen te verschuiven, fotoresistprofielen veranderen en het aantal deeltjes stijgt. Voor je het weet kijk je naar afval, nabewerking en verloren waferstarts. Wij hebben onze vervanglampen zo ontworpen dat dit moment wordt voorkomen.

Wat er onder de motorkap echt toe doet
De lamp bevat short-wave infrared (SWIR) emitters binnen een kwartsomhulling, afgestemd om warmte direct en snel over te brengen op het waferpodium. We garanderen een outputstabiliteit van ±0,1°C over het bake-oppervlak, zodat de fotoresisttemperatuur volgens recept blijft, cyclus na cyclus. Het is ontworpen voor 7×24 fabrieksbedrijf: een nominale levensduur van meer dan 5.000 uur, met een output degradatie van minder dan 5% gedurende die periode. Materialen die geschikt zijn voor cleanroom gebruik en een assemblage met minimaal deeltjesverlies houden het besmettingsrisico waar het telt onder controle—Class 1–100 omgevingen.

Gloeilamp on Industrial Quartz Heating Systems

Vervangingslamp voor wafer droger