Medium waves kwartsverwarmtubus

Wed, 24 Jun 2026 00:41:10 +0800

Op de productielijn wordt het verhitten van de fotoresist niet gezien als een ‘gewone’ thermische stap. Het is eerder een belangrijk element voor het bereiken van de gewenste afmetingen. Een verschil van 2°C tijdens het zachte of harde verhiten kan ertoe leiden dat de CD’s beschadigen, dat er vuil op de interface ontstaat en dat de kwaliteit van het eindproduct onvoorspelbaar wordt. Mediumgolffrequente kwartsverwarmers zijn de beste oplossing om deze variabiliteit te verminderen.

Wat echt belangrijk is, is controle op het niveau van de wafer. Mediumgolfluchtstraling dringt gemakkelijk door in de fotoresist en het kwarts, waardoor er snel en efficiënt wordt verwarmd, met minimale thermische inertie. Hierdoor blijft het verhittingsproces stabiel en is de uniformiteit op het niveau van de wafer binnen ±0,1°C. Bovendien is de herhalbaarheid hoog, zodat de kwaliteit van het product consistent blijft, ongeacht of het om verschillende lagen producten gaat. De verwarmer blijft ook schoon: het kwarts is van hoge zuiverheid, waardoor er minder uitstoot optreedt en geen deeltjes worden gegenereerd. Op deze manier hoef je je geen zorgen te maken over contaminatie wanneer je bezig bent met het bereiken van de gewenste afmetingen.

Golf on Industrial Quartz Heating Systems

Medium waves kwartsverwarmtubus