IR on Industrial Quartz Heating Systems

Precisie IR sensor voor wafer

Thu, 23 Jul 2026 09:31:54 +0800

Voorkom dat uw IR-lampen uw wafers beschadigen

Bij een productieomgeving met hoge volumes is het uitvallen van een lamp niet zomaar een klein probleem of een korte stilstand. Het is een nachtmerrie.
Wanneer de kwartsomhulling kapotgaat, vallen er glasdeeltjes en metalen fragmenten recht op de wafers terecht. Dat leidt tot een ernstige vervuiling die u absoluut niet wilt hebben. Precies daarom bouwen we onze IR-sensoren en verhittingslampen op deze manier.

Het voorkomen van schade
We gebruiken synthetisch kwarts van hoge zuiverheid voor de omhullingen. Waarom? Omdat dit materiaal het kan hebben tegen snelle opwarming en afkoeling, zonder te breken onder druk.
Maar we stoppen hier niet bij. We voegen ook een beschermende laag toe. Denk erbij aan een soort ‘veiligheidsnet’. Als het filament kapotgaat, vangt de laag de brokstukken op, zodat ze de wafers niet raken. Op deze manier blijven de wafers intact. Eenvoudig, toch?

Aluminiumreflector voor IR lamp

Thu, 23 Jul 2026 09:12:33 +0800

Stop met het verspillen van warmte: de waarheid over aluminiumreflectoren

In een slimme productiefaciliteit wordt warmte meestal gezien als een irritant probleem. Maar als je er anders naar kijkt, is het eigenlijk een hulpmiddel.

Het probleem is dat het grootste deel van die energie gewoon wegloopt in het chassis van de machine, zonder enig nut voor jou te hebben. Hier komen aluminiumreflectoren om de hoek kijken. Ze werken in feite als een spiegel voor infraroodstraling en kaatsen die energie recht terug op je werkstuk.

Een gelijkmatige hitte voor een 300mm wafer IR

Thu, 18 Jun 2026 00:44:19 +0800

Kijk hoe een 300mm-grote wafer uit de spincoater komt. De fotoresist zit er nog op, klaar om te worden gebruikt. Als de verhitting niet gelijkmatig is, raak je niet alleen één wafer kwijt. Ook daalt de productiviteit en neemt de thermische belasting voor het hele lithografieproces toe. We hebben ons IR-systeem voor 300mm-wafers ontworpen om dit probleem op te lossen: het zorgt voor een gelijkmatige warmtestroom precies waar dat nodig is.

Wat er echt toe doet We gebruiken infrarode stralers met korte golflengten voor een snelle en directe overdracht van energie. Hierdoor blijft de temperatuur op het oppervlak van de wafer constant, met een verschil van ±0,1°C over het hele oppervlak van 300mm. Dit werkt elke keer weer goed. Het systeem is compatibel met schone ruimtes van klasse 1–100. Er zijn geen deeltjes die kunnen veroorzaken dat de kamers vies worden.