Temperatuur on Industrial Quartz Heating Systems

Temperatuursensor voor wafergereedschap

Mon, 27 Jul 2026 16:08:16 +0800

IR-verwarming versus warme lucht: waarom uw waferverwerkingsapparaat traag is

Als u nog steeds gebruikmaakt van warme luchtcirculatie voor diepe verwerking van halfgeleiders, besteedt u waarschijnlijk veel te veel tijd aan wachten.
Warmte door warme lucht werkt namelijk op basis van convectorende warmteoverdracht. U moet de hele kamer verwarmen – elke kubieke centimeter lucht – voordat de wafer zelfs maar begint op tewarmen. Dat is een tijdrovend proces. Er is een enorme vertraging die tijd kost.

Het gaat allemaal om de tijd.
IR-verwarming werkt anders. Het heeft geen last van lucht; het stuurt stralingsenergie rechtstreeks naar de wafer.
Het is snel. Heel snel.
In plaats van te wachten tot een ventilator warme lucht rondblaast, raken fotonen het materiaal en zorgen ze er meteen voor dat alles in beweging komt. De tijd die nodig is om het apparaat op temperatuur te brengen of weer af te koelen, verdwijnt vrijwel volledig. Door deze vertraging weg te nemen, neemt de productiesnelheid drastisch toe.

Fabriek voor hoge temperatuurthermische tape

Tue, 23 Jun 2026 12:35:56 +0800

Op de productieafdeling weet je hoe snel een verschil van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist tot gevolg kan hebben dat de cruciale afmetingen niet meer voldoen aan de vereisten. Hierdoor gaat veel materiaal verloren. We hebben ons hoge-temperatuursysteem ontwikkeld om deze onzekerheid weg te nemen.

Wat technisch gezien belangrijk is: Het systeem zorgt voor een constante temperatuur van ±0,1°C over het hele oppervlak van de chips. Dit wordt bereikt met behulp van kortegolf-infraroodlicht en een gesloten-luspyrometrie-systeem. Het systeem is ontworpen voor schone ruimtes van klasse 1–100. De materialen die worden gebruikt, hebben een lage uitstoot van gassen, en het systeem heeft een constructie die ervoor zorgt dat het aantal deeltjes onder het vereiste niveau blijft, zowel bij zachte als harde verhittingsprocessen. De profielen van de fotoresist blijven steeds hetzelfde, want de thermische omstandigheden worden precies geregeld – er wordt geen gokwerk gedaan.