Jak utrzymać czystość w pomieszczeniach o wysokiej czystości: Prawda o ogrzewaniu podczerwienią
Jeśli pracujesz w pomieszczeniu o czystości klasy 100, na pewno znasz koszmary związane z powstawaniem cząstek kurzu. Jeden mały pyłek lub niewielka ilość gazów może zniszczyć całą partię waferów.
Problem polega na tym, że większość standardowych elementów grzewczych nie nadaje się do takich zadań. Podczas nagrzewania i chłodzenia powstają mikroskopijne odłamki, które psują jakość produktu. To ciągła walka z tym problemem.
Znaleźliśmy lepsze rozwiązanie. Używamy rur z kwarcu o wysokiej czystości, pokrytych warstwą złota, która zapewnia zwrot promieni podczerwonych. Proste, ale skuteczne.
Dlaczego złoto?
Standardowe lampy kwarcowe emitują ciepło we wszystkich kierunkach – to marnotrawstwo energii. Dodając cienką warstwę złota na tylnej stronie rury, skupiamy całą energię podczerwoną w jednym kierunku. W ten sposób dwukrotnie zwiększamy ilość ciepła docierającego do podłoża. Wybieramy złoto, ponieważ doskonale odbija promienie podczerwone, a w przeciwieństwie do innych materiałów nie ulega utlenianiu przy wysokich temperaturach.
Korzystamy również z syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości. Dzięki temu, gdy zwiększasz temperaturę, nie musisz się martwić o migrację jonów z rury na powierzchnię krzemu. Rura pozostaje czysta.
Szybkość, temperatura… i ograniczenia
Te lampy są przeznaczone do szybkiego obróbki termicznej. Dzięki złotu energia jest skupiona w jednym miejscu, więc osiągasz pożądane temperatury szybciej. To oznacza, że waferom nie trzeba długo przebywać w stresujących warunkach.
Ale należy uważać na gęstość mocy. Gdy eksploatujesz te lampy do maksimum, ich elementy konstrukcyjne mogą ulec uszkodzeniu. Zawsze radzę ludziom uważnie obserwować uszczelki i linie chłodzenia. Nie chcesz przecież, aby termiczny stres spowodował uszkodzenie rury w trakcie pracy.
Jak to wprowadzić do swojej linii produkcyjnej?
Te lampy zostały zaprojektowane tak, aby można je było łatwo zastąpić istniejącymi elementami. Nie musisz remontować całej aparatury.
Jedną z największych zalet jest to, że nie musisz używać tych dużych zewnętrznych reflektorów. One przyciągają kurz i są trudne do czyszczenia. Ponieważ odbicie światła odbywa się bezpośrednio wewnątrz rury, w pomieszczeniu jest mniej części, które należy czyścić. Mniej części oznacza szybszy cykl czyszczenia. A szybszy cykl czyszczenia oznacza, że liczba cząstek pozostaje na pożądanym poziomie.